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本技术公开了一种衬底边缘抛光装置，包括安装台、抛光轮组件和喷液件；安装台用于安装衬底；抛光轮组件包括用于与所述衬底接触的抛光部，所述抛光部至少包括沿所述衬底的厚度方向依次设置的第一接触部和第二接触部，所述第一接触部和所述第二接触部能够与所述...
该专利属于江苏第三代半导体研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏第三代半导体研究院有限公司授权不得商用。

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