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本发明提出一种集成电路制造工艺涂覆制程中增加钽圈使用寿命的处理方法，将使用后的钽圈放入到氮气柜内隔离，将上述钽圈取出放入烘烤箱内进行烘烤，然后对上述冷却后的钽圈进行重组装，再对上述钽圈进行预烧处理以及溅镀处理，这样处理后的钽圈又可被再次使用...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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