下载一种用于硅片上料的传送装置的技术资料

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本技术公开了一种用于硅片上料的传送装置,涉及特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置技术领域。该用于硅片上料的传送装置,包括第一传输组件与第二传输组件,所述第二传输组件设置在第一传输组件的上方,第一传输组件的上表面开设有通槽,第一传输组件的内壁...
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