温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请提供一种晶圆键合结构及堆叠背照式图像传感器、形成方法,所述晶圆键合结构包括:第一晶圆结构,包括第一晶圆和位于所述第一晶圆上的第一混合键合层,且所述第一混合键合层的切割道区包括第一金属层;第二晶圆结构,包括第二晶圆和位于所述第二晶圆上的...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请提供一种晶圆键合结构及堆叠背照式图像传感器、形成方法,所述晶圆键合结构包括:第一晶圆结构,包括第一晶圆和位于所述第一晶圆上的第一混合键合层,且所述第一混合键合层的切割道区包括第一金属层;第二晶圆结构,包括第二晶圆和位于所述第二晶圆上的...