下载一种桌面式涂布成膜一体机的技术资料

文档序号:41757006

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本技术公开了一种桌面式涂布成膜一体机,包括成膜机、对成膜机抽真空的真空泵、涂布机以及给涂布机提供氮气的氮气接口,还包括将成膜机和涂布机从外侧密封在一起的封闭机构,以避免基片转移时被外界污染。封闭机构将成膜机和涂布机封闭,这样在内部操作,避免...
该专利属于杭州众能光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州众能光电科技有限公司授权不得商用。

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