一种桌面式涂布成膜一体机制造技术

技术编号:41757006 阅读:23 留言:0更新日期:2024-06-21 21:39
本技术公开了一种桌面式涂布成膜一体机,包括成膜机、对成膜机抽真空的真空泵、涂布机以及给涂布机提供氮气的氮气接口,还包括将成膜机和涂布机从外侧密封在一起的封闭机构,以避免基片转移时被外界污染。封闭机构将成膜机和涂布机封闭,这样在内部操作,避免外界接触,从而避免了污染。将涂布机和成膜机进行了不影响功能的优化,使两者能够放置于同一箱体中,并减小了大部分体积,同时也将操作进行了优化,箱体的主箱门也配有橡胶手套,可在不开门的情况下将涂布完成的基片从涂布机的平台上转移到成膜机上,避免了外界的污染。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及涂布成膜一体领域,具体为一种桌面式涂布成膜一体机


技术介绍

1、在钙钛矿等薄膜太阳能电池制作工艺中,涂布工艺完成后就是真空成膜工艺,如果在做完涂布工艺后转移到真空成膜设备的过程中,没有合理转移,可能会使玻璃基片受到污染,弄脏玻璃,并且两台设备会增加占地空间,并在一定程度上延长整体制作的时间,因此,如何避免基片转移过程的污染,是该领域技术人员急需解决的问题。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种桌面式涂布成膜一体机,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种桌面式涂布成膜一体机,包括成膜机、对成膜机抽真空的真空泵、涂布机以及给涂布机提供氮气的氮气接口,还包括将成膜机和涂布机从外侧密封在一起的封闭机构,以避免基片转移时被外界污染。封闭机构将成膜机和涂布机封闭,这样在内部操作,避免外界接触,从而避免了污染。

3、优选的,所述封闭机构包括容纳成膜机和涂布机的箱体,且箱体的前端连接有主箱门,主箱门便于上料,所述真空泵和氮气接口连接在箱体上本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种桌面式涂布成膜一体机,包括成膜机(1)、对成膜机(1)抽真空的真空泵(2)、涂布机(3)以及给涂布机(3)提供氮气的氮气接口(4),其特征在于:还包括将成膜机(1)和涂布机(3)从外侧密封在一起的封闭机构,以避免基片转移时被外界污染;

2.根据权利要求1所述的桌面式涂布成膜一体机,其特征在于:所述操作机构包括安装在主箱门(6)上的橡胶手套(7),还包括安装在箱体(5)上的透视机构。

3.根据权利要求2所述的桌面式涂布成膜一体机,其特征在于:所述透视机构包括安装在主箱门(6)上的主透视板(8)。

4.根据权利要求3所述的桌面式涂布成膜一体机,其特...

【技术特征摘要】

1.一种桌面式涂布成膜一体机,包括成膜机(1)、对成膜机(1)抽真空的真空泵(2)、涂布机(3)以及给涂布机(3)提供氮气的氮气接口(4),其特征在于:还包括将成膜机(1)和涂布机(3)从外侧密封在一起的封闭机构,以避免基片转移时被外界污染;

2.根据权利要求1所述的桌面式涂布成膜一体机,其特征在于:所述操作机构包括安装在主箱门(6)上的橡胶手套(7),还包括安装在箱体(5)上的透视机构。

3.根据权利要求2所述的桌面式涂布成膜一体机,其特征在于:所述透视机构包括安装在主箱门(6)上的主透视板(8)。...

【专利技术属性】
技术研发人员:付超尧辉龙刘豪栋马显陈雅琪莫佳彬
申请(专利权)人:杭州众能光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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