【技术实现步骤摘要】
本技术涉及涂布成膜一体领域,具体为一种桌面式涂布成膜一体机。
技术介绍
1、在钙钛矿等薄膜太阳能电池制作工艺中,涂布工艺完成后就是真空成膜工艺,如果在做完涂布工艺后转移到真空成膜设备的过程中,没有合理转移,可能会使玻璃基片受到污染,弄脏玻璃,并且两台设备会增加占地空间,并在一定程度上延长整体制作的时间,因此,如何避免基片转移过程的污染,是该领域技术人员急需解决的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种桌面式涂布成膜一体机,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种桌面式涂布成膜一体机,包括成膜机、对成膜机抽真空的真空泵、涂布机以及给涂布机提供氮气的氮气接口,还包括将成膜机和涂布机从外侧密封在一起的封闭机构,以避免基片转移时被外界污染。封闭机构将成膜机和涂布机封闭,这样在内部操作,避免外界接触,从而避免了污染。
3、优选的,所述封闭机构包括容纳成膜机和涂布机的箱体,且箱体的前端连接有主箱门,主箱门便于上料,所述真空泵和
...【技术保护点】
1.一种桌面式涂布成膜一体机,包括成膜机(1)、对成膜机(1)抽真空的真空泵(2)、涂布机(3)以及给涂布机(3)提供氮气的氮气接口(4),其特征在于:还包括将成膜机(1)和涂布机(3)从外侧密封在一起的封闭机构,以避免基片转移时被外界污染;
2.根据权利要求1所述的桌面式涂布成膜一体机,其特征在于:所述操作机构包括安装在主箱门(6)上的橡胶手套(7),还包括安装在箱体(5)上的透视机构。
3.根据权利要求2所述的桌面式涂布成膜一体机,其特征在于:所述透视机构包括安装在主箱门(6)上的主透视板(8)。
4.根据权利要求3所述的桌面式
...【技术特征摘要】
1.一种桌面式涂布成膜一体机,包括成膜机(1)、对成膜机(1)抽真空的真空泵(2)、涂布机(3)以及给涂布机(3)提供氮气的氮气接口(4),其特征在于:还包括将成膜机(1)和涂布机(3)从外侧密封在一起的封闭机构,以避免基片转移时被外界污染;
2.根据权利要求1所述的桌面式涂布成膜一体机,其特征在于:所述操作机构包括安装在主箱门(6)上的橡胶手套(7),还包括安装在箱体(5)上的透视机构。
3.根据权利要求2所述的桌面式涂布成膜一体机,其特征在于:所述透视机构包括安装在主箱门(6)上的主透视板(8)。...
【专利技术属性】
技术研发人员:付超,尧辉龙,刘豪栋,马显,陈雅琪,莫佳彬,
申请(专利权)人:杭州众能光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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