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本技术涉及硅片清洗设备领域，具体涉及一种双联清洗槽装置。通过设置相邻的第二清洗槽和第一清洗槽，使得溢流水连通。本技术实施例提供了一种双联清洗槽装置，包括：并列设置在第二清洗槽和第一清洗槽；以及所述第二清洗槽和所述第一清洗槽之间设置有中间腔；...
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