一种双联清洗槽装置制造方法及图纸

本技术涉及硅片清洗设备领域，具体涉及一种双联清洗槽装置。通过设置相邻的第二清洗槽和第一清洗槽，使得溢流水连通。本技术实施例提供了一种双联清洗槽装置，包括：并列设置在第二清洗槽和第一清洗槽；以及所述第二清洗槽和所述第一清洗槽之间设置有中间腔；所述中间腔分别与所述第二清洗槽的顶部和所述第一清洗槽的底部连通。所述第二清洗槽内的水溢流时，通过所述中间腔进入所述第一清洗槽内。硅片酸洗或者碱洗后，先进入第一清洗槽冲刷，而此时第二清洗槽通过溢流补水至正在冲刷的左边第一清洗槽内，从而节约一半的用水量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片清洗设备领域，具体涉及一种双联清洗槽装置。

技术介绍

1、太阳能电池片的制备需要经过硅片的清洗制绒步骤，硅片的清洗制绒需要进行多种槽清洗，例如酸洗槽酸洗、碱洗槽碱洗、水槽纯水洗等等，而碱洗或酸洗后面会设置两个及以上的水洗槽，以满足酸洗或碱洗后硅片表面去除药液残留的需求。由于现有的清洗水槽都是1个进水管和1个出水管，清洗过程中每个第一清洗槽不管在不在清洗，都需要纯水不停的补充和排出以此保证槽内水的洁净。清洗时，清洗水槽通过一段时间的溢流清洗来去除硅片上残留的药液，而每个清洗水槽都是一槽一用，耗水量极大。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种双联清洗槽装置，以解决上述问题。

2、为了实现上述目的，本技术实施例提供了一种双联清洗槽装置，包括：并列设置在第二清洗槽和第一清洗槽；以及

3、所述第二清洗槽和所述第一清洗槽之间设置有中间腔；

4、所述中间腔分别与所述第二清洗槽的顶部和所述第一清洗槽的底部连通；其中

5、所述第二清洗槽内的水溢流时，通过所述中间本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种双联清洗槽装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的双联清洗槽装置，其特征在于，

3.如权利要求1所述的双联清洗槽装置，其特征在于，

4.如权利要求1所述的双联清洗槽装置，其特征在于，

5.如权利要求1所述的双联清洗槽装置，其特征在于，

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7.如权利要求1所述的双联清洗槽装置，其特征在于，

8.如权利要求1所述的双联清洗槽装置，其特征在于，

9.如权利要求8所述的双联清洗槽装置，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种双联清洗槽装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的双联清洗槽装置，其特征在于，

3.如权利要求1所述的双联清洗槽装置，其特征在于，

4.如权利要求1所述的双联清洗槽装置，其特征在于，

5.如权利要求1所述的双联清洗...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，申斌，刘威，成旭，谈丽文，鞠璐平，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：