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一种碳化硅晶体及其生长方法和坩埚技术
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文档序号:41752243
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本发明涉及晶体生长技术领域,特别涉及一种碳化硅晶体及其生长方法和坩埚,这种方法包括将包含原料硅的含硅原料容置于容置件,将碳化硅籽晶设置于承载件,含硅原料在保护气体的保护下熔融生成含硅熔体,碳原料和籽晶均与含硅熔体接触,并在二者间施加第一电压...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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