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本申请涉及芯片检测固定装置技术领域，尤其涉及一种芯片检测固定装置、芯片检测设备及固定方法。通过第一凸起支撑薄膜胶片，以使薄膜胶片与基准件之间形成间隙。通过负压装置进行抽气，使薄膜胶片至少部分贴合基准面。负压装置暂停抽气，薄膜胶片在自身张力作...
该专利属于东莞市兆丰精密仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市兆丰精密仪器有限公司授权不得商用。

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