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一种石墨舟冷却用暂存装置制造方法及图纸
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下载一种石墨舟冷却用暂存装置的技术资料
文档序号:41750714
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本发明公开了一种石墨舟冷却用暂存装置,包括:暂存壳体,暂存壳体内用于存放石墨舟;隔板,所述隔板整列设置在暂存架内,隔板之间形成隔间;安置组件,所述安置组件设置于隔板上,所述安置组件用于存放石墨舟;冷却组件,所述冷却组件设置于隔板一侧,所述冷...
该专利属于滁州亿晶光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过滁州亿晶光电科技有限公司授权不得商用。
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