一种石墨舟冷却用暂存装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种石墨舟冷却用暂存装置，包括：暂存壳体，暂存壳体内用于存放石墨舟；隔板，所述隔板整列设置在暂存架内，隔板之间形成隔间；安置组件，所述安置组件设置于隔板上，所述安置组件用于存放石墨舟；冷却组件，所述冷却组件设置于隔板一侧，所述冷却组件用于降低石墨舟表面温度；抬升组件，所述抬升组件用于配合冷却组件对石墨舟底部舟脚冷却，初始状态下，通风板居于石墨舟的中部，通过冷却风扇带动气流从通风板顶部吹出，从而使得石墨舟中部先降温，再通过移动组件带动通风板向两侧移动，从而使得石墨舟由内到外的降温，往复运行，采用此方式，可使得石墨舟中部温度较高的地方先降温。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及topcon加工领域，具体为一种石墨舟冷却用暂存装置。

技术介绍

1、太阳能电池是一种利用太阳光能转化为电能的装置，其核心部件是硅基半导体材料。为了提高太阳能电池的光电转换效率，通常需要在硅片表面镀上一层或多层薄膜，以降低反射损失，增强光吸收，改善电子输运等。其中，氮化硅薄膜是一种常用的减反射膜，具有优良的光学性能和化学稳定性。

2、氮化硅薄膜的制备方法有多种，其中一种是等离子体增强化学气相沉积(pecvd)法。该方法利用高频电场在真空腔室中激发气体分子的电离，形成等离子体，从而在硅片表面沉积氮化硅薄膜。为了保证沉积过程的均匀性和稳定性，需要将硅片放置在一种特殊的载体上，即石墨舟。石墨舟是由石墨片、陶瓷棒、石墨杆、陶瓷圈、石墨块、石墨螺母、石墨帽等部件组成的一种结构，具有良好的导电性和导热性，能够承受高温和高压的工作环境。

3、然而，石墨舟在使用过程中也存在一些问题，主要是石墨舟的散热效果不佳，导致石墨舟的出舟温度过高，石墨舟舟脚散热慢，影响硅片的质量和寿命，甚至造成石墨舟的损坏和机台的自动化待机。

4、为本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种石墨舟冷却用暂存装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种石墨舟冷却用暂存装置，其特征在于：冷却组件(3)还包括冷却风扇(31)，所述冷却风扇(31)设置于暂存壳体(1)内壁上，所述隔板(11)与石墨舟之间设置有通风板(32)，所述通风板(32)顶部为开口端，所述通风板(32)关于隔板(11)竖直中心面对称设置有两组，所述通风板(32)底部设置有移动组件(33)，所述通风板(32)一侧开设有进风口，所述通风板(32)进风口与冷却风扇(31)出风口通过连接管相连通。

3.根据权利要求2所述的一种石墨舟冷却用暂存装置，其特征在于：所述通风板(32)...

【技术特征摘要】

1.一种石墨舟冷却用暂存装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种石墨舟冷却用暂存装置，其特征在于：冷却组件(3)还包括冷却风扇(31)，所述冷却风扇(31)设置于暂存壳体(1)内壁上，所述隔板(11)与石墨舟之间设置有通风板(32)，所述通风板(32)顶部为开口端，所述通风板(32)关于隔板(11)竖直中心面对称设置有两组，所述通风板(32)底部设置有移动组件(33)，所述通风板(32)一侧开设有进风口，所述通风板(32)进风口与冷却风扇(31)出风口通过连接管相连通。

3.根据权利要求2所述的一种石墨舟冷却用暂存装置，其特征在于：所述通风板(32)横截面顶端为等腰梯形，下端为矩形组成，通风板(32)与石墨舟中的舟片之间夹角为0～5度之间。

4.根据权利要求3所述的一种石墨舟冷却用暂存装置，其特征在于：所述移动组件(33)还包括连接杆(331)，所述连接杆(331)与通风板(32)底部固定连接，所述隔板(11)两侧开设有滑槽(332)，所述连接杆(331)底部与滑槽(332)滑动连接，所述滑槽(332)内设置有电缸一(333)，所述电缸一(333)外壁与隔板(11)固定连接，所述电缸一(333)内部伸缩轴与连接杆(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：周敏，高翔，徐明靖，
申请(专利权)人：滁州亿晶光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：