下载掩膜条和掩膜装置的技术资料

文档序号:41749698

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本申请公开了一种掩膜条和掩膜装置,掩膜条包括本体部,本体部包括两个连接端,两个连接端沿第一方向排列,本体部还包括蒸镀区组,蒸镀区组的数量至少为两个,蒸镀区组位于两个连接端之间,且蒸镀区组包括至少一个蒸镀区,至少部分蒸镀区的形状不同,每个蒸镀...
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