温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明是关于纳米线阵列太阳能电池制备和纳米加工方法，尤其是Ｓｉ纳米线阵列太阳能电池的纳米加工方法。包括：两个电极和在两个电极之间加工出Ｓｉ纳米线ｐｎ结阵列。本发明用纳米压印技术（Ｎａｎｏｉｍｐｒｉｎｔ ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）和结合微电子工...该专利属于上海市纳米科技与产业发展促进中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海市纳米科技与产业发展促进中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。