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本公开提供了基于从连接到相应单元的个别排气管道测量的排气量来控制安装在主排气管道中的阻尼器的控制单元及包括其的半导体制造设备。半导体制造设备包括：阻尼器，安装在主排气管中；第一单元，处理基板，并且通过第一辅助排气管连接到主排气管；第二单元，...
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