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本申请涉及液晶面板处理技术领域,尤其是涉及一种TF液晶面板刻蚀腔铝板清洁再生的方法,包括以下步骤:将磁控溅射法形成铜硅粘连的铝板经机械削剥到铝板原厚度;在氨水中滴加氯化铵和酒石酸铵形成清洗液,将机械削剥后的铝板放置在清洗液内,浸泡反应;在去...该专利属于苏州高芯众科半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州高芯众科半导体有限公司授权不得商用。
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本申请涉及液晶面板处理技术领域,尤其是涉及一种TF液晶面板刻蚀腔铝板清洁再生的方法,包括以下步骤:将磁控溅射法形成铜硅粘连的铝板经机械削剥到铝板原厚度;在氨水中滴加氯化铵和酒石酸铵形成清洗液,将机械削剥后的铝板放置在清洗液内,浸泡反应;在去...