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本发明属于温度控制技术领域,具体的说是一种电阻设备温度及温梯精确调控系统,包括电控柜、电控柜内部安装有供电模块、感应加热模块、电阻加热模块、测温模块、控制端、温度控制单元;所述电控柜和供电模块之间通过电性连接;通过感应线圈、电阻加热模块,分...该专利属于哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司授权不得商用。