温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种掺杂氮化铝压电薄膜的制备方法，属于压电薄膜制备技术领域。本发明在衬底上制备第一层氮化铝薄膜；在第一层氮化铝薄膜上使用磁控溅射通过铝靶和第一掺杂元素靶的共溅射形成初步掺杂的氮化铝薄膜；检测并计算初步掺杂的氮化铝薄膜中第一掺杂元素的含量与目...
该专利属于北京科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。