下载处理液排放组件和处理液排放方法的技术资料

文档序号:41740327

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本发明涉及一种处理液排放组件和处理液排放方法,并且所述处理液排放组件包括:排出歧管,所述排出歧管连接到基底处理设备的至少一个排放管线,并且被配置为限定预定容纳空间以临时容纳处理液;以及排出管,所述排出管连接到所述容纳空间的底表面,其中,所述...
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