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具有三维堆叠结构的电沉积系统，包含用于接收晶圆的工厂接口，包含主框架传送机械手和多个置于其上的晶圆固持装置的主框架，多个置于主框架中的电镀单元，多个置于主框架中低于电镀单元位置的清洗单元，多个置于主框架和工厂接口之间的热处理腔，与电镀单元和...
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