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本发明公开了一种电子级一氟甲烷提纯装置及提纯工艺，涉及一氟甲烷提纯技术领域；包括塔体，所述塔体侧面上设置有进气管，所述塔体侧面上设置有进液管，还包括，所述喷洒组件设置在所述塔体内上侧，用于旋转喷洒反应液体，所述升降组件设置在塔体内位于所述喷...
该专利属于浙江瑞亨电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江瑞亨电子材料有限公司授权不得商用。

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