【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一氟甲烷提纯，特别是一种电子级一氟甲烷提纯装置及提纯工艺。
技术介绍
1、电子原料气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，近年来，电子原料气体市场需求量明显增长。一氟甲烷(ch3f)是一种绿色、高效的电子特气，用于半导体及电子产品的刻蚀，对硅化物薄膜的刻蚀选择性好，一氟甲烷是无色易燃原料气体，在一氟甲烷生产过程中，需要将导入原料气体的精馏塔内导入碱液进行反应提纯。
2、本申请人发现在现有技术中至少存在以下技术问题：现有的精馏塔将碱液导入塔体内部过程中，碱液是通过导管直接向下喷洒到塔体内，反应时间短，且覆盖范围较小，导致部分反应液体和杂质气体反应不充分，提纯精度不高，且现有装置在进行提纯时，洒落的液体通常直接进行排放，导致部分未进行反应的碱液浪费掉，且碱液成本过高，造成了一氟甲烷提纯成本的增加，且释放一定碱液后，一般为定制定量释放碱液，导致原料气体内原料气体未完全反应，造成提纯精度的降低，达不到电子级的纯度要求，降低...
【技术保护点】
1.一种电子级一氟甲烷提纯装置，其特征在于，包括塔体，所述塔体侧面上设置有进气管，所述塔体侧面上设置有进液管，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种电子级一氟甲烷提纯装置，其特征在于：所述环形喷头外缘面上同轴开设有连接槽，所述支撑件上端固定设有插入连接槽内且与连接槽滑动连接的密封塞，所述连接槽上下两侧壁上分别开设有密封槽，所述密封塞上下两侧分别设置有能够插入其对应侧密封槽内的密封圈，所述进液管伸出连接槽且与环形喷头连通。
3.根据权利要求2所述的一种电子级一氟甲烷提纯装置，其特征在于：所述的环形喷头内缘面上固定设有连接架，所述连接架下端转动设有...
【技术特征摘要】
1.一种电子级一氟甲烷提纯装置，其特征在于，包括塔体，所述塔体侧面上设置有进气管，所述塔体侧面上设置有进液管，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种电子级一氟甲烷提纯装置，其特征在于：所述环形喷头外缘面上同轴开设有连接槽，所述支撑件上端固定设有插入连接槽内且与连接槽滑动连接的密封塞，所述连接槽上下两侧壁上分别开设有密封槽，所述密封塞上下两侧分别设置有能够插入其对应侧密封槽内的密封圈，所述进液管伸出连接槽且与环形喷头连通。
3.根据权利要求2所述的一种电子级一氟甲烷提纯装置，其特征在于：所述的环形喷头内缘面上固定设有连接架，所述连接架下端转动设有上下轴向的转轴，所述塔体内侧壁上设置有第一防护件，所述连接架下方设置有第二防护件，所述转轴下端延伸至第二防护件内且同轴设有位于第二防护件内的从动件，所述塔体内设置有与所述从动件啮合且位于第一防护件内的驱动件，所述第一防护件与第二防护件的外壁固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种电子级一氟甲烷提纯装置，其特征在于：所述的升降组件包括设置在支撑件下端的第一连接件，第一连接件与第二防护件固定连接，所述转轴位于第一连接件内，所述转轴上设置有一端位于第一连接件内的牵引件，所述牵引件与第一连接件滑动连接，所述塔体内侧壁上滑动设有升降件，所述升降件上端转动设有连接轴，所述连接轴上端与牵引件通过第三连接件转动连接。
5.根据权利要求4所述的一种电子级一氟甲烷提纯装置，其特征在于：所述的回液组件包括转动设置在升降件上端的转动件，所述转动件和升降件之间设有气动伸缩件，所述转动件外缘...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈锋，李建新，李相矩，
申请(专利权)人：浙江瑞亨电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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