下载一种电极可重构的宽量程电导率传感器的技术资料

文档序号:41739701

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本发明公开了一种电极可重构的宽量程电导率传感器,包括半导体衬底、设置在衬底表面的V形梁、弓形梁、折叠梁、连接杆、圆形电极、锚区和限位圆柱,第一圆形电极和第二圆形电极分别设置于第一弓形梁和第二弓形梁短轴的中心,并分别通过第一折叠梁和第二折叠梁...
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