一种电极可重构的宽量程电导率传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种电极可重构的宽量程电导率传感器，包括半导体衬底、设置在衬底表面的V形梁、弓形梁、折叠梁、连接杆、圆形电极、锚区和限位圆柱，第一圆形电极和第二圆形电极分别设置于第一弓形梁和第二弓形梁短轴的中心，并分别通过第一折叠梁和第二折叠梁与锚区相连，构成传感器的检测电极，传感器利用V形梁驱动弓形梁在水平面内发生翻折，进而调节两个检测电极之间的相对距离，实现对传感器检测量程的重构。随后，通过向检测电极施加交变电压信号，进而获取流经电导池的电流信号，实现溶液电导率的检测。本发明专利技术提供的传感器结构简单，通用性强，适用于宽量程的电导率测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电导率传感器，特别涉及一种电极可重构的宽量程电导率传感器。

技术介绍

1、溶液浓度检测与人们的生产、生活紧密相关，电导率是溶液浓度检测的关键参数。对于电导率的测量和电导率传感器的研究已经有了非常悠久的历史。目前已有的电导率传感器的种类繁多，测量原理也各式各样。电导率传感器的发展历史，大致是从传统的机械式电导率传感器向着智能化的集成式电导率传感器发展。传统的电导率传感器有着各自不可替代的优点，然而体积大、一致性差等问题还是制约了其在便携式设备和微型电子产品中的应用。

2、随着微电子技术的发展和进步，半导体电导率传感器所具有的体积小、控制方便、响应快等优势得以体现。电导率传感器主要分为电极式和感应式两种，其中电极式电导率传感器由于后续处理电路简单、测量精度高、使用方便，广泛应用于盐溶液浓度检测中。电导池常数决定了电导率的检测范围，而测量电极间的相对距离与电导池常数呈正相关。与目前已有的电极式电导率传感器相比，可变测量电极间距的电导率传感器可以根据待测溶液浓度改变电极之间的相对距离，通过影响电导池常数从而提高电导率的量程，适合宽量程本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电极可重构的宽量程电导率传感器，其特征在于：包括半导体衬底(1)，设置在所述半导体衬底(1)表面的第一V形梁(2)、第二V形梁(3)、第一弓形梁(4)、第二弓形梁(5)、第一折叠梁(6)、第二折叠梁(7)、第一圆形电极(8)、第二圆形电极(9)、第一锚区(10)、第二锚区(11)、第三锚区(12)、第四锚区(13)、第五锚区(14)、第六锚区(15)、第一限位圆柱(16)、第二限位圆柱(17)、第一连接杆(18)和第二连接杆(19)，其中,

2.根据权利要求1所述的一种电极可重构的宽量程电导率传感器，其特征在于：传感器在三种量程之间切换，分别是量程一、量程二和量程三。...

【技术特征摘要】

1.一种电极可重构的宽量程电导率传感器，其特征在于：包括半导体衬底(1)，设置在所述半导体衬底(1)表面的第一v形梁(2)、第二v形梁(3)、第一弓形梁(4)、第二弓形梁(5)、第一折叠梁(6)、第二折叠梁(7)、第一圆形电极(8)、第二圆形电极(9)、第一锚区(10)、第二锚区(11)、第三锚区(12)、第四锚区(13)、第五锚区(14)、第六锚区(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄庆安，杨国鑫，韩磊，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：