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一种芯片扇出封装方法及芯片扇出封装结构技术
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文档序号:41739076
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本发明公开了一种芯片扇出封装方法,包括:在芯片载板上涂胶固化形成解键合层后制作第一重布线层;在第一重布线层粘贴第一芯片并设置多个金属导电柱;将金属导电柱和第一芯片整体塑封形成第一塑封层;研磨第一塑封层,使金属导电柱和第一芯片的凸点露出;将第...
该专利属于中国科学院计算技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院计算技术研究所授权不得商用。
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