下载线性探针及其制造方法的技术资料

文档序号:41738298

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本发明提供了一种线性探针及其制造方法,属于探针制造领域,方法包括:将圈料的探针基材穿进直线度为长度的0.2%的毛细管,并将所述探针基材和毛细管一起放入真空退火炉中,在真空度至少达到5*10<supgt;‑3</supgt;Pa的...
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