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本发明涉及相位差测量，具体涉及一种掩膜版相位差测量装置及测量方法，包括按顺序依次设置的UV光源、聚光透镜、带通滤波器、掩膜版、DUV物镜、第一中继透镜、第一分光镜，第一分光镜生成两束相干光，其中一束相干光依次经过第一反射镜、第一楔镜后到达第...
该专利属于佛山清溢光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛山清溢光电有限公司授权不得商用。

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