下载一种智能环抛机及其控制方法的技术资料

文档序号:41737019

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本发明涉及光学元件加工技术领域,提供一种智能环抛机及其控制方法,智能环抛机包括:设备主体,包括抛光基盘和用于驱动抛光基盘转动的驱动机构,抛光基盘设有第一管路,抛光基盘的中心轴设有旋转密封阀,第一管路的进液端和出液端均连通至旋转密封阀,抛光基...
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