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本发明公开了一种衍射光学元件的定心装调装置及透射面形检测方法,解决了衍射光学元件在各个装调工序后直接检测面形成本太大的技术问题。具体包括均为环形的衍射镜框定心座、检测镜筒及检测隔圈;衍射镜框定心座的外壁为台阶状,形成第一环形面和第二环形面;...该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种衍射光学元件的定心装调装置及透射面形检测方法,解决了衍射光学元件在各个装调工序后直接检测面形成本太大的技术问题。具体包括均为环形的衍射镜框定心座、检测镜筒及检测隔圈;衍射镜框定心座的外壁为台阶状,形成第一环形面和第二环形面;...