一种衍射光学元件的定心装调装置及透射面形检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种衍射光学元件的定心装调装置及透射面形检测方法，解决了衍射光学元件在各个装调工序后直接检测面形成本太大的技术问题。具体包括均为环形的衍射镜框定心座、检测镜筒及检测隔圈；衍射镜框定心座的外壁为台阶状，形成第一环形面和第二环形面；衍射镜框定心座上靠近第二环形面的端面用于安装衍射镜框；检测镜筒的内壁为台阶状，形成轴线为同一直线的第一定心加工面和第二定心加工面；第一定心加工面与第二环形面的直径相匹配；第二定心加工面与补偿镜框的外壁直径相匹配；检测隔圈套装在第二环形面外。通过该定心装调装置进行检测，大幅度降低了检测成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及衍射光学元件，具体涉及一种衍射光学元件的定心装调装置及透射面形检测方法。

技术介绍

1、衍射类光学元件是一种通过表面浮雕结构对入射光相位进行调制，在输出面得到任意形状光斑的一类光学器件。衍射光学元件具有体积小、重量轻、衍射效率高、色散性好、设计自由度大、材料可选性多、光学功能多等优点。由于衍射光学元件色散特性与传统折射性器件相反，因此衍射光学元件常与传统光学系统组成混合光学系统，可以有效消除色差，改善成像质量。

2、但是衍射光学元件在经过表面微结构刻蚀或者单点金刚石车削后，通常无法像球面镜、平面镜一样直接检测反射面形，无法获取衍射光学元件在加工、装调过程中的检测数据。对于光学系统而言，如果全过程不可检不可测，就会极大增加成品的质量风险，难以保证最终的光学性能。衍射光学元件在加工表面微结构之前是平面，可以检测反射面形，在加工微结构之后的全部过程中均不能直接检测面形。

3、如图1所示，衍射光学元件01和补偿镜组02是正式产品(即折衍混合组件)中不可或缺的部分，两者组合成为折衍混合组件，衍射光学元件01装在衍射镜框03中，需本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种衍射光学元件的定心装调装置，用于折衍混合组件，所述折衍混合组件包括镜筒和套设在镜筒内的衍射镜组及补偿镜组；所述衍射镜组包括衍射镜框(1)和安装在衍射镜框(1)内的衍射光学元件(2)；所述补偿镜组包括补偿镜框(3)和安装在补偿镜框(3)内的补偿镜；所述补偿镜框(3)外壁上设有外凸环(31)；

2.根据权利要求1所述的衍射光学元件的定心装调装置，其特征在于：所述衍射镜框定心座(4)和检测镜筒(5)均采用铝合金制作。

3.根据权利要求1所述的衍射光学元件的定心装调装置，其特征在于：所述N＝4。

4.一种衍射光学元件的透射面形检测方法，采用权利要求1-...

【技术特征摘要】

1.一种衍射光学元件的定心装调装置，用于折衍混合组件，所述折衍混合组件包括镜筒和套设在镜筒内的衍射镜组及补偿镜组；所述衍射镜组包括衍射镜框(1)和安装在衍射镜框(1)内的衍射光学元件(2)；所述补偿镜组包括补偿镜框(3)和安装在补偿镜框(3)内的补偿镜；所述补偿镜框(3)外壁上设有外凸环(31)；

2.根据权利要求1所述的衍射光学元件的定心装调装置，其特征在于：所述衍射镜框定心座(4)和检测镜筒(5)均采用铝合金制作。

3.根据权利要求1所述的衍射光学元件的定...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛源，吕旭童，沈重，曹明强，毛祥龙，王鹏，徐志晨，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：