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碳化硅芯片的封装方法及封装结构技术
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文档序号:41735329
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本发明提供一种碳化硅芯片的封装方法及封装结构。碳化硅芯片的封装方法包括:提供第一基板及碳化硅芯片,第一基板材料选自于硅和金刚石中的至少一种,且具有图案化电极层,电极层材料为铜、铝等,碳化硅芯片具有第一、第二表面,且分别具有第一、第二电极;将...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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