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本发明提供一种聚酰亚胺薄膜及其制备方法，该聚酰亚胺薄膜的制备方法包括以下步骤：提供一衬底，并将衬底固定于旋涂机器的转动平台上；以第一转速转动衬底并于衬底上表面喷涂粘附剂，在转动第一预设时间后，以第二转速转动第二预设时间，以得到粘附层；以第三...
该专利属于华润微电子（重庆）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华润微电子（重庆）有限公司授权不得商用。

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