温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种制备铁电材料的薄层(3)的方法，该方法包括提供薄层(3)的步骤，该薄层(3)具有露出的第一自由面(8)。该方法还包括通过离子蚀刻进行减薄的步骤，该步骤由蚀刻参数限定。根据本发明，蚀刻参数被选择为使得薄层(3)的自由面(8)在减...
该专利属于索泰克公司所有，仅供学习研究参考，未经过索泰克公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。