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本发明提供一种失效定位方法以及失效分析方法，失效定位方法包括：获取一具有失效器件的样品，失效器件形成热点位置；获取热点位置，将激光点作用于与热点位置相邻的器件上，并调整激光的功率和作用时间；将样品研磨至相应层次，在一预设范围内对样品进行电性...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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