温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种MEMS微加热器及其制备方法，MEMS微加热器包括衬底硅层、氧化层、上硅层和加热结构，加热结构设置在上硅层上，加热结构包括绕线段和与绕线段相连的电极结构，加热结构采用空间填充分形曲线进行绕线，形成具有空间填充分形曲线的绕线段...
该专利属于深圳市穗晶半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市穗晶半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。