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本发明作为一种基板接合系统以及基板接合方法，公开了执行用于使基板表面亲水化的等离子体工艺时，控制基板的夹紧和解夹紧过程并在充分保持基板表面的亲水化的状态下，能够有效地执行通过脱水反应的基板接合的技术。基板接合系统包括基板处理装置，包括主处理...
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。

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