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具有最小杂散场的磁性隧道结器件制造技术
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下载具有最小杂散场的磁性隧道结器件的技术资料
文档序号:41729523
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第二BEOL层,包括围绕过孔的过孔电介质层,以及在过孔上方对准的磁性隧道结(MTJ)堆叠,过孔包括由衬垫分隔开的上金属柱和下金属柱。第一后段(BEOL)层,包括围绕BEOL金属层的BEOL电介质层;第二BEOL层,包括围绕过孔的过孔电介质层...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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