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本发明涉及光电器件制备技术领域，具体涉及一种基于紫外激光加工掩膜制备多色探测器的方法，针对在蒸镀或溅射微纳器件金属电极时金属掩膜版无法对准和固定在指定位置的问题，使用紫外激光在金属薄片上加工微纳器件所需的图案形成掩膜版，再使用PDMS拾取金...
该专利属于广西师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过广西师范大学授权不得商用。

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