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本发明公开了一种MEMS光学麦克风，包括：壳体，壳体具有内腔以及将内腔与外界导通的进声口；微机电模块，包括振膜，振膜悬置于内腔，振膜上贯穿开设有过光间隙，过光间隙的尺寸随着声压的大小增大或缩小；光电模块，包括电磁辐射源以及感测器，电磁辐射源...
该专利属于瑞声声学科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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