一种MEMS光学麦克风制造技术

本发明专利技术公开了一种MEMS光学麦克风，包括：壳体，壳体具有内腔以及将内腔与外界导通的进声口；微机电模块，包括振膜，振膜悬置于内腔，振膜上贯穿开设有过光间隙，过光间隙的尺寸随着声压的大小增大或缩小；光电模块，包括电磁辐射源以及感测器，电磁辐射源以及感测器设于振膜的相对两侧，感测器用于接收电磁辐射源所发出的光束，光束覆盖于过光间隙上，光束的尺寸大于过光间隙的最大尺寸；集成电路模块，与光电模块电连接。与现有技术相比，本发明专利技术通过将电磁辐射源发出的光束尺寸设为大于过光间隙的最大尺寸，从而提高了MEMS光学麦克风的动态范围，能够感测到更大范围的声音信号，对由声音信号引起的辐射或光强的线性变化具有更高的灵敏度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及麦克风，特别是一种mems光学麦克风。

技术介绍

1、传统的麦克风是基于电容器，膜片随着声波而振动，并通过改变电容器的基板间距而产生电压变化，从而实现声电转换。

2、光学麦克风是一种较为新颖的麦克风，光学麦克风一般包括光电模块、集成电路模块(asic)、微机电模块(mems)这三大模块，其中光电模块能够朝向微机电模块发出光线，并接收经微机电模块反射的光线，当声波致动微机电模块的膜片时，膜片微小振动并改变反射回光电模块的光的强度和相位，光电模块将反射的光线的强度和相位信号转化为电信号，并输送至集成电路模块，从而实现由声信号到光信号再到电信号的转变。

3、随着消费者越来越高的体验要求，有必要提出一种性能更优异的mems光学麦克风。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供一种mems光学麦克风，以解决现有技术中的技术问题。

2、本专利技术提供了一种mems光学麦克风，包括：

3、壳体，所述壳体具有内腔以及将所述内腔与外界导通的进声口；

4、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS光学麦克风，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的MEMS光学麦克风，其特征在于，所述光束包括扩散段，所述扩散段的尺寸随着光束的延伸方向逐渐增大，所述扩散段的窄径端与所述电磁辐射源接续。

3.根据权利要求1所述的MEMS光学麦克风，其特征在于，所述电磁辐射源与所述振膜之间设有光扩散器，所述光束穿透过所述光扩散器后延伸入所述过光间隙内，所述电磁辐射源与所述光扩散器之间的光束的尺寸小于所述光扩散器与所述振膜之间的光束的尺寸。

4.根据权利要求3所述的MEMS光学麦克风，其特征在于，所述光扩散器包括平凹透镜以及双凸透镜，所述平凹透镜以及...

【技术特征摘要】

1.一种mems光学麦克风，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的mems光学麦克风，其特征在于，所述光束包括扩散段，所述扩散段的尺寸随着光束的延伸方向逐渐增大，所述扩散段的窄径端与所述电磁辐射源接续。

3.根据权利要求1所述的mems光学麦克风，其特征在于，所述电磁辐射源与所述振膜之间设有光扩散器，所述光束穿透过所述光扩散器后延伸入所述过光间隙内，所述电磁辐射源与所述光扩散器之间的光束的尺寸小于所述光扩散器与所述振膜之间的光束的尺寸。

4.根据权利要求3所述的mems光学麦克风，其特征在于，所述光扩散器包括平凹透镜以及双凸透镜，所述平凹透镜以及所述双凸透镜沿着所述光束的延伸方向依次设置，所述平凹透镜较所述双凸透镜靠近所述电磁辐射源。

5.根据权利要求1所述的mems光学麦克风，其特征在于，所述振膜包括相互独立的第一膜片和第二膜片，所述光束包括相互独立的第一光路和第二光路，所述过光间隙包括设于所述第一膜片上的第一分过光间隙和设于所述第二膜片上的第二分过光间隙，所述第一光路覆盖于所述第一分过光间隙，所述第二光路覆盖于第二分过光间隙，所述第一分过光间隙的尺...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿里·泰默，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：