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一种气相外延工艺中的掺杂方法，包括如下步骤：提供含有卤素元素的气体和由Ⅲ族金属与掺杂元素构成的混合物；加热Ⅲ族金属与掺杂元素构成的混合物；将含有卤素元素的气体通过加热后的混合物表面，以生成混有Ⅲ族金属元素卤化物与掺杂元素卤化物的混合气体；将...
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