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本技术公开了一种IC掩膜版CD测量机，包括固定底架、花岗岩基座、XY轴精密中空平台、电气控制系统、透射光源系统、Z轴支架、Z轴精密模组、显微成像系统、主动式隔振机构。本技术所提出的一种IC掩膜版CD测量机，实现了对于IC掩膜版的测量，设备最...
该专利属于深圳清溢光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳清溢光电股份有限公司授权不得商用。

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