下载炉体温度梯度实时可调机构的技术资料

文档序号:4172330

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一种炉体温度梯度实时可调机构,涉及晶体生长设备和高温设备,属于晶体生长设备和半导体设备制造技术领域,主要为炉体,由炉壁和炉盖构成,炉盖放置在炉壁上下端面,其特征在于:所述炉壁和上下炉盖在垂直方向上分成一层或多层,在水平方向上分成一块或多块。...
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