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文档序号:4172328
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一种顶部籽晶温度梯度法生长大尺寸高温氧化物晶体的方法,涉及晶体生长新工艺,将泡生法、提拉法(CZ)、热交换法(HEM)、温梯法(TGT)和坩埚下降法结合在一起,创造一个可调节温度梯度和温场中心的特殊高温真空晶体炉,通过装炉、抽高真空、升温化...
该专利属于上海元亮光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海元亮光电科技有限公司授权不得商用。
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