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本发明提供一种适用于原位分析的微型CVD炉,包括：法兰支架一、法兰支架二、加热炉组件、光学显微镜、调节组件以及电路控制组件，与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：通过在加热炉组件中安装加热件一、加热件二，加热件一、加热件二均为是以氮化硅...
该专利属于合肥科晶材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥科晶材料技术有限公司授权不得商用。

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