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本发明提供了一种用于半导体设备的射频匹配器，所述半导体设备包括射频匹配器、一个射频电源和至少一个射频电极，所述射频匹配器串联设置在射频电源和射频电极之间，所述射频匹配器包括：输入端口，与射频电源连接，用于接收所述射频电源输出的射频信号；输出...
该专利属于江苏天芯微半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏天芯微半导体设备有限公司授权不得商用。

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