下载一种便于存取的半导体晶圆承载装置的技术资料

文档序号:41720115

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供一种便于存取的半导体晶圆承载装置,属于晶圆承载技术领域,以解决在存取晶圆过程中,可能会出现晶圆与相邻晶圆发生摩擦的问题;包括承载箱;所述承载箱内部滑动设置有承载机构,且承载机构两侧固定设置有固定机构;所述承载盒内部固定设置有连接装...
该专利属于天津汇泰硕半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津汇泰硕半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。