下载一种晶圆制造工艺的标记方法与系统的技术资料

文档序号:4171723

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本发明提供一种晶圆制造工艺的标记方法与系统,该技术包括:获取晶圆测试数据;将上述晶圆测试数据转换成标记数据;根据上述标记数据对上述晶圆进行标记。进一步的,该方法更包括对上述晶圆测试数据和上述标记数据进行格式检查,上述转换步骤为读取一产品标记...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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