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本发明提供一种晶圆测试机台及晶圆动态参数的测试方法,测试机台包括:晶圆托盘,用于放置待测试晶圆,电连接待测试晶圆的Drain极;中央连接架,位于晶圆托盘上方,与晶圆托盘的边缘接触且电连接;测试设备下底板,位于中央连接架上方;晶圆托盘上升使得...该专利属于佛山市联动科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过佛山市联动科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种晶圆测试机台及晶圆动态参数的测试方法,测试机台包括:晶圆托盘,用于放置待测试晶圆,电连接待测试晶圆的Drain极;中央连接架,位于晶圆托盘上方,与晶圆托盘的边缘接触且电连接;测试设备下底板,位于中央连接架上方;晶圆托盘上升使得...