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一种清洗方法,包括,配制包含清洗溶液和氧化溶液的混合溶液;利用所述混合溶液对运行于清洗机台中的所述基底执行清洗操作,所述混合溶液的配置过程是利用所述清洗机台在所述基底的运行过程中完成的,且配制所述混合溶液时放出热量。可增强清洗效果且不增加设...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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一种清洗方法,包括,配制包含清洗溶液和氧化溶液的混合溶液;利用所述混合溶液对运行于清洗机台中的所述基底执行清洗操作,所述混合溶液的配置过程是利用所述清洗机台在所述基底的运行过程中完成的,且配制所述混合溶液时放出热量。可增强清洗效果且不增加设...